簡便・確実にウエハ裏面に接する部位の微小異物を捕集できるウエハ
当社では、半導体製造装置のロボットアームやチャックテーブルに 付着した異物を捕集するウエハ状クリーニング材『クリーニングウエハ 』を 取り扱っております。 クリーニング層面を下側にして、ウエハカセットにセットし、 装置内を自動搬送するだけでトラブルの原因となる微小異物を 捕集できるので、装置稼働率が大幅に向上します。 【特長】 ■ダミーウエハの片面に異物捕集性と自動搬送性とを兼備えた クリーニング層を装備 ■真空チャンバの異物によるトラブルの解消では、 従来法と比べ大幅な時間短縮が期待可能 ■従来の人手によるクリーニングに比べ、 簡便で頻度・確度・対応性にすぐれる など ※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お問い合わせください。
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基本情報
【用途】 ■半導体前工程のプロセス装置、特に真空チャンバでの異物トラブルの多いプロセス ■半導体中工程のプロセス装置全般 ■手作業ではクリーニング困難な狭小なステージを持つ装置 ※詳しくはPDFをダウンロードいただく、お問い合わせください。
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企業情報
日東電工株式会社(Nitto)は1918年に絶縁材料の国産化を実現するという志のもと、東京大崎にて創業しました。 創業以降Nittoには多くの危機が押し寄せましたが、一つ一つの製品にNittoの持てる全てを注ぎ込み、顧客奉仕を追求することで、乗り越え、現在のNittoグループの礎を築いてきました。 そして常にお客様とともに歩み、現在では、グループの基幹技術である粘着技術や塗工技術をベースに、エレクトロニクス業界や、自動車、住宅、インフラ、環境および医療関連などの領域で、さまざまな製品を提供しグローバルに事業を展開しています。 今、社会課題がますます多様化・複雑化し、これまでにない速さで変化しています。このような中、Nittoグループは、社会課題解決と経済発展を両立し、人々のより快適な暮らしを実現していくことに挑戦し、世の中にとって必要とされる存在であり続けたいと考えています。 Nittoグループは、経営理念「新しい発想で お客様の価値創造に貢献します。」の下、社会の変化をチャンスと捉え、驚きと感動を次々と生み出し、社会に認めていただける価値を継続的に創出してまいります。