透明PVCで装置内の見える化！反応性の高い薬液に対する高信頼性の供給装置！
『薬液供給装置』は、薬液を秤料し調合タンクで調合撹拌後、 供給タンクに移送してポンプで送液するものです。 本装置は、装置本体内部に配管実装部、電気実装部を収納して構成 されています。 配管材料は、基本としてクリーンPFAチューブを採用しています。 薬液供給部は、供給タンクよりポンプで循環式又はワンパス式で送液。 供給圧力は調整可能です。 【特長】 ■反応性の高い薬液に対する高信頼性 ■薬液調合は秤量タンクにより、高い再現性 ■供給方式は、循環式もしくはワンパスのどちらでも可能 ■透明PVCで装置内の見える化 ■貴社工場との各種信号取り合いも追加変更可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【ユーテリティ】 ■純水 ・流量:最大20L/min ・圧力:0.2MPa ・取り合い:クリーンPVC 25A ユニオン ■圧縮空気 ・圧力:0.5MPa～0.8MPa ・流量:最大200L/min ・取り合い:Rc3/8メスネジ付きボス(SUS) ■排液 ・取り合い:PVC 40A ユニオン ■ドレインパン排水 ・排水はありませんが、装置背面下部にてHV止め 15A ■排気 ・取り合い:JIS 5kフランジ150A 300Pa ・供給圧力は調整可能 ■電気 ・仕様:AC100V 20A 端子台接続 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
株式会社ノアコーポレーションは各種検査装置の設計開発・製造や半導体製造装置の設計・製造を主に行なっております。 今までの製品を「コスト」を抑えつつさらに「使いやすく」処理を「高速」にを目標に日々技術の向上を図っております。 今の現状で満足することなく、常に新しいことに挑戦し続けます。 技術・経験・意欲を生かし、お客様の様々なご要望にお答え致します。
