低粘度～高粘度まで対応可能。１～１０，０００ｃｐｓ。 レジスト、ポリイミド、保護膜、硬化樹脂剤。基板サイズ：４００×５００ｍｍ
〈精密スリットコーター〉 ・搬送駆動：リニアモーター・リニアガイド・サーボモーター ・塗布供給方式：シリンジポンプ（独自の社内開発品） ・精密ステージ：石定盤（平坦度：10μｍ以下） ・低粘度～高粘度まで対応（数cps～10,000cps） 有機EL、フォトレジスト、ポリイミド、インク剤、硬化樹脂ｅｔｃ
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基本情報
装置仕様 ・ＭＡＸ１０，０００ｃｐｓ ・膜厚精度：±３．０％以内（基板端面５．０ｍｍ除外） ・塗布速度：１００ｍｍ／ＳＥＣ ・基板厚み確認：レーザーセンサー ・搬送駆動：リニアモーター・リニアガイド・サーボモーター ・精密ステージ：石定盤（平坦度：10μｍ以下） ・プレディスペンス機構 ・スリットノズル洗浄機構
価格帯
納期
用途／実績例
・大学、研究開発機関、産総研 ・素材、材料開発 ・精密部品・建築資材 ・飲料、食品 ・医薬品、バイオ ・自動車精密金型部品 ・化粧品 ・電子デバイス、半導体、液晶
企業情報
ネクスとは ・専門知識・経験豊富な視点からお客様のニーズに合わせ、コーティング方法を提案いたします。 基材サイズ、厚み・塗布液の種類・粘土・塗布膜厚・乾燥条件など様々な条件に合わせご提案いたします。 ・多種多様な設備・装置の総合提案応力 スリットコーター、卓上スピンコーター、スプレーコーター、ディップコーター、ロールコーターなど。 ・装置販売・機器の貸出・テスト評価 各種装置でのテスト評価が可能です。ご要望に応じ機器の貸出も対応しております。 技術力・提案力・行動力を生かし、お客様にとって安心・信頼できるビジネスパートナーとなることを目指しております。