あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガスフィルターです。
GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そしてSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されています。清浄度を確保するために、ろ過した窒素でパージされ出荷されます。 様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。
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基本情報
[流量] 0～5700Ｌ/ｍｉｎ [3nmフィルター] 多孔質PTFEフィルターで0.003マイクロメートルのろ過精度 [最大使用温度] 不活性ガス中 80℃ CDA(60℃を超える用途)でのフィルター寿命に関してはお問い合わせください [最大使用圧力] 1.72MPa [クリーンルーム製造] クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業 [100%ヘリウムリークテスト] ＜1×10 -9 atm cc/sec ◇◇◇詳細は製品カタログをご覧ください◇◇◇
価格帯
納期
用途／実績例
・半導体、フラットパネルディスプレイ、およびその他の高純度用途向けの一般およびプロセス用不活性ガス ・基板アニール等、クリティカルなフラットパネルプロセスに使用されるガス ・フロントオープニングユニファイドポッド（FOUP）の洗浄や露光を含む重要なプロセス用のクリーンドライエア(CDA)
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企業情報
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社ST事業部は、産業界での計測・制御の分野でもっとも重要な圧力と流量をテーマに優れた計測/制御機器を扱っております。 圧力計測においては、米国セトラ社の日本代理店として、長年にわたり数多くの圧力センサを国内に供給しております。セトラ社の圧力センサは高精度・高感度を特徴としており、半導体製造装置をはじめ、多くの先端技術に採用されています。又、あらゆる産業の圧力測定場面で対応出来るように他にもＢＤ社やHoneywell社などの製品も扱っています。 これらの圧力センサを内蔵、もしくは外付けしたデジタル圧力計の製造もおこなっています。 社内には、国家標準にトレーサビリティーを持つ各種の圧力基準器が厳密に空調された校正検査室に設置されていますので、検査/再校正を社内にて行うことができます。 流量に関しては、液体/気体（マスフロー）どちらもユニークで高付加価値な製品を取り扱っています。 液体用は小型で安価、高精度なタービン式を中心にコリオリ式流量計もございます。 製薬・医薬製造向けのディスポーサブルセンサ、食品・飲料向けの規格取得のセンサなど、多様なニーズにお応えします。