350 ℃までの高温対応！真空チャンバー用の真空フィードスルー
『VFT シリーズ』は、半導体プロセスにおける光学モニタリング および薄膜蒸着のエンドポイントの検出を含む各種の 超高真空アプリケーション用アクセサリです。 真空チャンバの中へ、または真空チャンバから外へ光を導くために使用。 コア径200μm、400μm、600μm、1000μmの光ファイバでご利用可能です。 【特長】 ■NEMA 筐体および高圧アプリケーション内で適切に機能 ■10^－10 Torr 真空に対応 ■350℃までの高温対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【ラインアップ】 ■VFT-200-SR コア径200μm、耐ソラリゼーションファイバ ■VFT-200-VIS コア径200μm、可視-近赤外ファイバ ■VFT-400-SR コア径400μm、耐ソラリゼーションファイバ ■VFT-400-VIS コア径400μm、可視-近赤外ファイバ ■VFT-600-SR コア径600μm、耐ソラリゼーションファイバ ■VFT-600-VIS コア径600μm、可視-近赤外ファイバ ■VFT-1000-UV コア径1000μm、耐ソラリゼーションファイバ ■VFT-1000-VIS コア径1000μm、可視-近赤外ファイバ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■発光測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
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