低消費電力100W以下！搬送アームには独自の小型軽量多段スライド方式を採用
『AR2300-220』は、従来のクリーンロボットと同様の機能を装備した 卓上タイプのウェハー搬送装置です。 搬送アームには独自の小型軽量多段スライド方式を採用。 旋回、上下軸の軽量化により簡単な構造となり、従来比1/3以下の 質量を実現します。 【特長】 ■従来比1/3以下の質量を実現 ■クリーン対策：下部カバー側面から吸引する独自構造 ■低消費電力100W以下を達成 ■RS232Cによる専用コマンド制御 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様(抜粋)】 ■アーム ・動作範囲：300mm ・搬送速度：300mm/1.0sec ・分解能：22.5μm ■旋回 ・動作範囲：340度 ・搬送速度：180度/0.8sec ・分解能：0.0073度 ■上下 ・動作範囲：220mm ・搬送速度：220mm/0.8sec ・分解能：15.00μm ■被搬送物：φ76.2mm、φ100mm ウェハ ■繰返し精度：±0.2mm 以内 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■LED/MEMS/パワーデバイス分野 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社は、長年培ってきた半導体製造分野のクリーン搬送技術を基礎に、従来の 検査装置では検査できない特殊なウェハを検査する検査装置、レーザーマーカー 複合検査装置、および各種ローダを新しく開発、設計、製造しております。 特殊ウェハ対応と目視検査の自動化の両面から、お客様のかゆいところに 手が届く「必要なのに、どこにも売ってない装置」の製品化を行います。