モータには減速機組付け可能！コントローラは5軸仕様のクリーンロボット
『HR1400-720』は、全軸アブソリュートエンコーダタイプ ACサーボモータ装備の直動式シングルアームクリーンロボットです。 モータには減速機組付け可能。 制御方式はRS232C、I/O及びイーサネットを選択できます。 【特長】 ■各種センサ装備 ■コントローラは5軸仕様 ■制御方式：RS232C ■I/O及びイーサネットを選択 ■全軸アブソリュートエンコーダタイプACサーボモータ装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様】 ■アーム ・動作範囲：1430mm ・搬送速度：1430mm/2.0sec以下 ・分解能：0.005mm以下 ■旋回 ・動作範囲：300度 ・搬送速度：180度/1.5sec以下 ・分解能：0.0005度以下 ■上下 ・動作範囲：720mm ・搬送速度：720mm/2.5sec以下 ・分解能：0.001mm以下 ■被搬送物：ガラス基板（膜無し） ■繰返し精度：±0.2mm 以内 ■クリーン度：0.3μm/cf クラス10 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■FPD分野 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社は、長年培ってきた半導体製造分野のクリーン搬送技術を基礎に、従来の 検査装置では検査できない特殊なウェハを検査する検査装置、レーザーマーカー 複合検査装置、および各種ローダを新しく開発、設計、製造しております。 特殊ウェハ対応と目視検査の自動化の両面から、お客様のかゆいところに 手が届く「必要なのに、どこにも売ってない装置」の製品化を行います。