板金比率を高め構造を単純化することで製造コスト削減！リンク式クリーンロボット
『PR2111-60』は、各種センサ装備のリンク式ダブルアームクリーンロボットです。 当社従来品に比べ、板金比率を高め、構造を単純化することにより、 製造コスト削減を実現します。 真空吸着式のセラミックスチャックを装備しています。 【特長】 ■全軸2相ステッピングモータ仕様 ■チャック：セラミックスチャック(真空吸着式) オプション ■各種センサ装備 ■板金比率を高め構造を単純化することにより、製造コスト削減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様】 ■アーム ・動作範囲：370mm ・搬送速度：370mm/0.5sec ・分解能：21.6μm以下 ■旋回 ・動作範囲：330度 ・搬送速度：180度/0.6sec ・分解能：0.00556度 ■上下 ・動作範囲：60mm ・搬送速度：60mm/0.5sec ・分解能：5μm ■被搬送物：8インチ シリコンウェハ無処理品 ■繰返し精度：±0.1mm 以内 ■クリーン度：ISO クラス2 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■半導体分野 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社は、長年培ってきた半導体製造分野のクリーン搬送技術を基礎に、従来の 検査装置では検査できない特殊なウェハを検査する検査装置、レーザーマーカー 複合検査装置、および各種ローダを新しく開発、設計、製造しております。 特殊ウェハ対応と目視検査の自動化の両面から、お客様のかゆいところに 手が届く「必要なのに、どこにも売ってない装置」の製品化を行います。