スパッタとの組み合わせも可能！大量生産に適したインライン式FCVA装置
当社の『インラインコーティングシステム（FCVA）』をご紹介します。 大量生産に適したインライン式FCVA装置。 チャンバー数を任意に選定可能です。 また、スパッタとの組み合わせも可能。 ヒーター、イオンビームによる基板クリーニング機構です。 【特長】 ■FCVAとスパッタを装備 ■ヒーター、イオンビームによる基板クリーニング機構 ■DC、MF、RFのスパッタ電源が選択可能 ■自公転タイプサンプルフォルダー ■チャンバー数を任意に選定可能 ■最大基板サイズ：φ900mm x 500mm(H) ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
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価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■DLC(TAC)膜 ■金属膜 ■金属膜 / DLC(TAC)積層膜 ■セラミック膜 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
企業情報
弊社の開発技術は国際特許を取得し社会的にも大きな役割を担っています。 FCVA方式によるスーパーDLC（水素基フリーのta-C膜）（*2）は、 既存のPVD方式やCVD方式により生成されるDLC膜と比較し全く異なるプロセスで成膜されております。 そのほか金属とプラスチックとの離型性に優れた複合金属膜「Micc膜(*3)」があります。 FCVA方式により生成されるコーティング膜は、現在 ハードディスク産業、 精密機械産業、半導体産業などの分野で急速に採用されており、 今後、自動車産業、ナノインプリト産業や生体材料分野への展開が期待されています。