真空チャンバの中へ、または真空チャンバから外へ光を導くために使用
『VFTシリーズ』は、半導体プロセスにおける光学モニタリングおよび 薄膜蒸着のエンドポイントの検出を含む各種の超高真空アプリケーション用 アクセサリです。 真空チャンバの中へ、または真空チャンバから外へ光を導くために使用。 業界基準のフランジに結合可能で、KF40 およびKF16 ISO フランジ、 また2.73 インチおよび1.33 インチのコンフラットフランジの 4種類でご提供可能です。 【特長】 ■測定内容：発光測定 ■真空チャンバの中へ、または真空チャンバから外へ光を導くために使用 ■業界基準のフランジに結合可能 ■サージカルステンレスによって構成されている ■真空フィードスルーは、コア径200μm、400μm、600μm、1000μmの 光ファイバで利用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【ラインアップ(抜粋)】 ■1.33インチコンフラットフランジ ・VFT-200-UV-133 ・VFT-200-VIS-133 ■2.75インチコンフラットフランジ ・VFT-200-UV-275 ・VFT-200-VIS-275 ■KF16 ISOフランジ ・VFT-200-UV-16 ・VFT-200-VIS-16 ■KF40 ISOフランジ ・VFT-200-UV-40 ・VFT-200-VIS-40 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■超高真空アプリケーション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
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