わずかな水流むらも引き起こさない高精度な石英槽を提供し続けています。
株式会社SCREEN SPE クォーツは『石英加工』を承っております。 石英槽のほか、搬送ユニットのロボットチャックやウェハーガイドなど、 繊細なウエハーに直接触れる高精度・高品質な製品を供給。 また、薬液処理槽において薬液を加熱するインラインヒーターなど、 多彩な石英ガラス製品も開発・製造しています。 【特長】 ■ボートやチューブをはじめとするウエハー熱処理装置用部品の 開発・製造を積極的に展開 ■図面と全行程の内容をデータ化して長期保存 ■メンテナンスに迅速に対応するとともに、追加オーダーに対しても同精度の 製品を供給 ■データには形成に携わった技術者と検査者の全氏名を記録 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【主要製品】 ■石英槽(6インチ・8インチ・12インチ) ■チャック ■ウェハーガイド ■インラインヒーター ほか ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
株式会社SCREEN SPE クォーツは、石英ガラス製品の加工事業やスライス事業を行っている会社です。創業事業の半導体洗浄装置向け処理槽をはじめ、近年目覚ましい成長を遂げた液晶分野のフォトマスク用材料、そして、大きな可能性を秘めた太陽電池・医療・バイオテクノロジーに至るまで、当社ならではの技術から生み出される石英ガラス製品は、進化する時代をリードし続けます。