6.8インチSEMI規格ウェハ対応！基本移載パターンが選択できる装置をご紹介
当製品は、カセットが通常ピッチカセットと2倍ピッチカセットに対応可能で相互間で移し替えることができる装置です。基本移載パターンは、同一スロット移載、スロット上下逆転移載、指定スロット移載などが選択可能。また、オプションとして、スロット指定レシピやウェハIDリーダーの搭載も可能です。 【特長】 ■6.8インチSEMI規格ウェハ対応 ■カセットは通常ピッチカセットと2倍ピッチカセットに対応可能 ■相互間で移し替えることができる ■スロット指定レシピやウェハIDリーダーの搭載も可能(オプション) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【装備】 ■ロボット ■アライナ ■2サイズ兼用カセットステージ2ポート ■制御機器(基本移載ソフト含む) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
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企業情報
当社は、長年培ってきた半導体製造分野のクリーン搬送技術を基礎に、従来の 検査装置では検査できない特殊なウェハを検査する検査装置、レーザーマーカー 複合検査装置、および各種ローダを新しく開発、設計、製造しております。 特殊ウェハ対応と目視検査の自動化の両面から、お客様のかゆいところに 手が届く「必要なのに、どこにも売ってない装置」の製品化を行います。