8インチウェハ対応！ウェハ中央部に接触することなく搬送できる装置をご紹介
当製品は、スタンドアロン式の各種ウェハ測定器などに自動搬送機能を 追加できる装置です。 エッジグリップハンドによりウェハ中央部に接触することなく搬送可能。 2mmまでの反りのあるウェハ、表裏面を反転させての搬送もできます。 また、測定機システムを上位として、連携させることが可能です。 【特長】 ■8インチウェハ対応 ■スタンドアロン式の各種ウェハ測定器などに自動搬送機能を追加できる ■エッジグリップハンドによりウェハ中央部に接触することなく搬送可能 ■2mmまでの反りのあるウェハ、表裏面を反転させての搬送もできる ■測定機システムを上位として、連携させることが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【装備】 ■ダブルアームロボット ■アライナ ■反転ユニット ■反り対応ウエハマッピング機構 ■制御機器(基本移載ソフト含む) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社は、長年培ってきた半導体製造分野のクリーン搬送技術を基礎に、従来の 検査装置では検査できない特殊なウェハを検査する検査装置、レーザーマーカー 複合検査装置、および各種ローダを新しく開発、設計、製造しております。 特殊ウェハ対応と目視検査の自動化の両面から、お客様のかゆいところに 手が届く「必要なのに、どこにも売ってない装置」の製品化を行います。