他の検査システムの欠陥データと連携！8インチウェハ対応の自動欠陥レビュー装置
当製品は、他の検査システムの欠陥データと連携するもので、指定の座標の 画像を自動で撮像し、保存や他システムへ送信する装置です。 自動搬送ユニットがレビューユニットのXYステージにウェハを搬送。 受信した欠陥データの指定座標を高倍率(100x、150x)にて自動撮像 することができます。 【特長】 ■8インチウェハ対応 ■指定の座標の画像を自動で撮像し、保存や他システムへ送信する ■自動搬送ユニットがレビューユニットのXYステージにウェハを搬送 ■受信した欠陥データの指定座標を高倍率(100x、150x)にて自動撮像可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【装備】 ■ダブルアームロボット ■アライナ ■自動レビューユニット ■制御機器(基本移載ソフト含む) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい
価格帯
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企業情報
当社は、長年培ってきた半導体製造分野のクリーン搬送技術を基礎に、従来の 検査装置では検査できない特殊なウェハを検査する検査装置、レーザーマーカー 複合検査装置、および各種ローダを新しく開発、設計、製造しております。 特殊ウェハ対応と目視検査の自動化の両面から、お客様のかゆいところに 手が届く「必要なのに、どこにも売ってない装置」の製品化を行います。