180度反転可能！全軸2Pステッピングモータ仕様のクリーンロボットをご紹介
『PR1000シリーズ』は、ハンドがステッピングモータ駆動によって 180度反転可能なリンク式シングルアームクリーンロボットです。 全軸2Pステッピングモータ仕様。 アルミニウムとステンレスの積層構造による特殊I型チャックです。 また、回転軸は原点センサ、モータの脱調検出センサ、180度位置センサを 装備しています。 【特長】 ■ハンドがステッピングモータ駆動によって180度反転可能 ■アルミニウムとステンレスの積層構造による特殊I型チャック ■回転軸は原点センサ、モータの脱調検出センサ、180度位置センサを装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社は、長年培ってきた半導体製造分野のクリーン搬送技術を基礎に、従来の 検査装置では検査できない特殊なウェハを検査する検査装置、レーザーマーカー 複合検査装置、および各種ローダを新しく開発、設計、製造しております。 特殊ウェハ対応と目視検査の自動化の両面から、お客様のかゆいところに 手が届く「必要なのに、どこにも売ってない装置」の製品化を行います。