5・6・8インチウェハ対応！2相ステッピングモータを使用の製品をご紹介します
『AA2000シリーズ』は、ウェハセンタリングがポリアセタール樹脂製クランプで ウェハ外周を把持します。 コンパクト、クリーンなボディで清浄度アップ。 RS232C通信制御またはI/O制御です。 また、5・6・8インチウェハに対応しています。 当製品のことでしたら、アテル株式会社に是非ご相談下さい。 【特長】 ■ウェハセンタリング：ポリアセタール樹脂製クランプでウェハ外周を把持 ■ノッチ位置決め スピンドルで吸着、光センサによる位置決め ■コンパクト、クリーンなボディで清浄度アップ ■RS232C通信制御またはI/O制御 ■2相ステッピングモータ使用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社は、長年培ってきた半導体製造分野のクリーン搬送技術を基礎に、従来の 検査装置では検査できない特殊なウェハを検査する検査装置、レーザーマーカー 複合検査装置、および各種ローダを新しく開発、設計、製造しております。 特殊ウェハ対応と目視検査の自動化の両面から、お客様のかゆいところに 手が届く「必要なのに、どこにも売ってない装置」の製品化を行います。