電顕に装着し荷重試験、電気試験、加温試験などを実現、単体可動モデルとSEM等へ装着型のラインナップ
SEMなどに装着し、平らな試料表面に、ピラミッド型の圧子を押込み、ナノオーダーの高精度で変位、加重を制御、計測します。取得データから、極小領域での試料の硬度、弾性率等の機械特性を導出することができます。 弊社取り扱いの製品では、圧子の形状や動作を変えることで、圧縮、引張り、引掻き等様々な試験にも使用できます。 ・高精度な荷重・変位制御 ・測定部を観察しながらのリアルタイム (In-situ) 試験、データ取得 ・圧縮、押込み、引張り、引掻き、疲労など多彩な試験 ・高荷重試験、長時間試験でも安定した測定 ・電圧印加、加熱しながらの応力試験
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基本情報
電子顕微鏡(SEM/TEM)内に装着して、マイクロ/ナノサイズの構造の機械的特性(押し込み、圧縮、引張り、曲げ、引っ搔き、振動等)の試験をその場観察 ( in-situ ) 計測できるメカニカルテスターや、ナノインデンターです。ナノインデンテーション法では、測定対象へ加えた荷重と押し込み深さを荷重-変位曲線で表し、さらにそこから得られた情報を計算することで物質の硬度を評価します。また、電気試験や加温試験などにも対応します。光学顕微鏡が付属した単体稼働モデルと、SEMや光学顕微鏡、シンクロトンビームなどに取り付け可能なモデルもご用意いたします。最小荷重単位は1nN ~、最小変位検知は10pm〜となっており、高精度な解析が可能です。シリコン・石英ガラス・Ni合金などの素材のほか、深掘りエッチング(DRIE)、LIGA、レーザー加工などの製造プロセスでも活用可能です。また、得られた画像をもとに歪み・変位の分布を解析する、デジタル画像相関法(DIC)による解析ソリューションもございます。
価格帯
納期
用途/実績例
・鉄・金属 ・薄膜 ・セラミックス ・ナノファイバー・ナノチューブ
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