幅広いプロセスや用途に対応！中古装置のリファブに好適です
当社では、RoHS指令・CEマーキング対応の、株式会社堀場エステック製 マスフローコントローラ『SEC-Z4400シリーズ』を取り扱っております。 接ガス部はメタル仕様となっており、ピエゾバルブも搭載。 また、SEC-7300・4400シリーズの継手サイズ・ピン配列との 互換を確保しています。 【特長】 ■リプレイス・アップグレード ■高性能・高信頼性 ■フレキシビリティ ■RoHS指令・CEマーキング対応 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
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基本情報
【仕様】 ■バルブ型式(SEC)：非通電時 閉(クローズ)C/開(オープン)O ■コントロールバルブ全閉時流量(SEC)：フルスケールの2％未満 ■流量制御範囲(SEC)：フルスケールの2～100％ ■流量測定範囲(SEF)：フルスケールの0～100％ ■流量精度：±1.0％F.S ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
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企業情報
当社は、半導体製造のハイテク分野で必要とされる精密な製造装置と 消耗パーツの製品を販売、メンテナンス・サービスを提供しています。 お客様が本当に必要なものを的確にコーディネートするために、お客様の 立場に立って悩みを共有し、解決に向けたディスカッションを行います。 製品納入後も当社が有する日本、アジア、U.S.A.、ヨーロッパの現地法人、 提携企業とともに、ワールドワイドかつ多様な分野で構成した グローバルなネットワークで、お客様をサポート致します。