フッ酸・硝酸・窒素酸化物を同時に無害化することが可能な設備です
フッ酸・硝酸処理設備は、半導体製造事業や太陽電池製造事業などから 排出されるフッ酸や硝酸、窒素酸化物を含む廃ガスを処理する設備です。 本設備は、フッ酸、硝酸を除去するアルカリスクラバーや窒素酸化物を 還元する触媒反応塔、触媒反応に適した温度まで廃ガスを加熱する為の ガス加熱器などで構成されています。 アルカリスクラバー用の充填物はMIRAXを使用し、従来の不規則充填物と 比較して優れた性能を備えており、既存の設備よりもコンパクトな設計が 可能です。 【特長】 ■様々な濃度の有害ガスに対応 ■余熱の有効利用が可能 ■エネルギー消費量が少ない ■処理ガス中のリークアンモニアを防止する制御で周囲の環境に配慮 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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【適用例（一部）】 ■半導体エッチング工程廃ガス処理 ■太陽電池製造工程廃ガス処理 ■ステンレス酸洗工程廃ガス処理 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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当社は、お客様の環境に関する問題解決のために ソリューションサービスをご提供いたします。 化学業界をはじめとして、エネルギー業界、鉄鋼業界、 食品・薬品業界他、様々な業界での環境に係わるエンジニアリング及び ユニットプロセスの提供を目的として活動しております。
