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最終更新日:2020年03月03日

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MEMSデバイス向け非破壊不良検査装置。試作品の接合界面評価から量産品の全数検査まで

『超音波映像装置』は、MEMSデバイス向け非破壊不良検査装置です。 日立ハイテクは、開発・試作~少量生産向けの「FineSATシリーズ」から ウェハ全自動検査向けの「Wafer LINE」まで対応が可能。 豊富なオプションでお客様のシチュエーションにマッチした ご提案をさせていただきます。 【特長】 ■解析機能を高めた64bit処理システム  標準仕様で最大4億点、オプション仕様で最大20億点の測定が可能 ■最大走査速度2,000mm/secの高速スキャナ、  新超音波パルサーの採用により大幅に測定時間を短縮 ■新開発の高周波プローブ(400MHz)、短焦点距離から長焦点距離まで、  豊富なプローブラインアップにより様々なウエハに対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【その他の特長】 ■試作~少量生産向け「FineSATシリーズ」から、ウェハ全自動検査向け  「Wafer LINE」まで対応可能 ■豊富なオプション ■お客様のシチュエーションにマッチした提案 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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企業理念は、あらゆるステークホルダーから「信頼」される企業を目指し、ハイテク・ソリューションによる「価値創造」を基本とした事業活動を通じ、社会の進歩発展に貢献することであります。 現在、「電子デバイスシステム」「ファインテックシステム」「科学・医用システム」「産業・ITシステム」「先端産業部材」の5つのセグメントで、グローバルな事業展開を行っており、また「商社機能」「メーカー機能」を有機的に統合し先端テクノロジー企業として、お客様のご要望にお応えしてゆきます。

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