MEMS展で大好評だった装置を紹介。分極処理やエッチング、焼成などのプロセスを効率化
当社では、ウェハの洗浄からエッチング、剥離、検査まで MEMS生産における各プロセスで活躍する装置を取り揃えています。 今回、「MEMSセンシング＆ネットワークシステム展 2020」にて お立ち寄りいただいた方からの反響の大きかった製品をピックアップ。 プロセスの効率化につながる装置を紹介します。 【出展製品（一部）】 ＜圧電MEMS向け プラズマポーリング（分極処理）装置＞ 均一性に優れ、最大90％と高い極性効果を発揮 ＜圧電材料／磁性材料対応 イオンミリング装置＞ φ100mmのウェハ6枚を同時に処理が可能な機種も用意 ＜高出力・短パルス制御 光焼成装置＞ 照射光をμ秒で制御でき、下地にダメージレスで瞬間的に加熱
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【その他のオススメ製品】 ＜超音波式 非破壊不良検査装置＞ 試作品の接合界面評価から量産品の全数検査までカバーするラインアップ
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企業理念は、あらゆるステークホルダーから「信頼」される企業を目指し、ハイテク・ソリューションによる「価値創造」を基本とした事業活動を通じ、社会の進歩発展に貢献することであります。 現在、「電子デバイスシステム」「ファインテックシステム」「科学・医用システム」「産業・ITシステム」「先端産業部材」の5つのセグメントで、グローバルな事業展開を行っており、また「商社機能」「メーカー機能」を有機的に統合し先端テクノロジー企業として、お客様のご要望にお応えしてゆきます。