機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備！RCA洗浄液に変わる洗浄液・洗浄方法の採用
『WULFシリーズ』は、高精細フォトマスクに対応したスピンタイプの 洗浄装置です。 機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備、ワーク回転の遠心力とオゾン水、 アンモニア添加水素水吐出により、検出限界レベルまで有機物・金属イオン・ 異物を除去可能なユニット。 また、各洗浄液を切り換えて洗浄することにより、ワーク上の不純堆積物を 高速除去するとともに廃液管理も安全な環境対応ツールです。 【特長】 ■ハイクリーン化と歩留向上に寄与 ■検出限界レベルまで有機物・金属イオン・異物を除去可能 ■ワーク上の不純堆積物を高速除去するとともに廃液管理も安全な環境対応ツール ■RCA洗浄液に変わる洗浄液・洗浄方法の採用 ■機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【その他の特長】 ■洗浄面への洗浄液高速拡散 ■異物・反応生成物の急速排除 ■ウォーターマークレス乾燥 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
株式会社天谷製作所は、1970年に横型バッチ式常圧CVD装置を開発・販売して以来、半導体製造用の成膜装置として使用される常圧CVD装置を中心に事業を展開してまいりました。 近年では、新しい分野への挑戦として、太陽電池製造用の高生産性常圧CVD装置を開発・販売しました。 今後も、新技術の開拓に取り組み、常圧ＣＶＤ装置のオンリーワン企業を目指します。