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ターボ分子ポンプステーション

最終更新日:2020年12月28日

丸菱実業株式会社
丸菱実業株式会社
  • 公式サイト

軽量!コンパクト!ドライ仕様の丈夫な高真空排気システム

エドワーズ社製ターボ分子ポンプ排気ユニットです。 幅広いアプリケーションで使用できる設計となっており、簡単に使用できます。 また、圧力の確認も容易にできます。 詳しくはカタログまたは弊社のホームページからご確認ください。

    ターボ型ポンプ真空機器真空ポンプ
T-Station.jpg

エドワーズ社高真空排気ユニット ターボ分子ポンプステーション

T-Station.jpg
T-Station.jpg
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基本情報

【主な特長】 ○排気速度  →47-400 L/sec ○オイルフリー  →粗引ポンプはダイアフラムポンプ・スクロールポンプ・ロータリー  ポンプから選択 ○TMP本体はnEXT85、240、300、400から選択 ○圧力表示  →大型ディスプレイ ○ボタンひとつで操作可能 ○フランジはICF、ISO-KF、ISO-Kフランジから選択

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用途/実績例

●ロードロック ●成膜装置 ●加速器 ●その他真空実験装置

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