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シート抵抗測定用4深針ケーブル

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最終更新日:2020年05月20日

アステラテック株式会社
アステラテック株式会社
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お手持ちのデジタルマルチメータに接続するだけ!簡単に薄膜のシート抵抗が測定可能

『シート抵抗測定用4深針ケーブル』は、信頼性の高い4探針法により、 薄膜の表面抵抗を測定するための製品です。 測定は、デジタルマルチメータにケーブルを接続し、四線式抵抗測定モード にして探針を薄膜に押し当てるだけ。 電流と電圧を別々に測定するため接触抵抗の影響がありません。 小面積の測定に適した探針ピッチ2mmの小型ヘッドの「SR4-S」や、微小面積の 測定に適した探針ピッチ1mmスクエアタイプの小型ヘッドの「SR4-SS」などを ラインアップしています。 【特長】 ■薄膜のシート抵抗を測定 ■探針は、先端がR形状のロジウムメッキされたスプリングプローブを採用 ■デジタルマルチメータに接続するだけで簡単に薄膜のシート抵抗が測定可能 ■電流と電圧を別々に測定するため接触抵抗の影響がない ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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シート抵抗測定用4深針ケーブル

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【ラインアップ】 ■SR4-J ■SR4-S ■SR4-SS ■SH-100(SR4-S・SR4-SS用ホルダー) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【用途】 ■薄膜のシート抵抗測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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アステラテック株式会社では、受託成膜事業や薄膜実験用器具、 実験用ガラス基板、技術コンサルティングを事業内容としております。 また当社では、真空成膜法の一種でDCもしくはRfの電源により生じさせた プラズマによってターゲット材料を空間中に叩きだし、 基板に堆積させるスパッタリグ法といった成膜技術を有しております。 ご要望の際はお気軽にご相談ください。

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