低温処理&電界遮蔽構造でダメージレス!LCD工場を始め数多くの生産工程で採用されています
『RT』は、低温処理&電界遮蔽構造の大気圧リモートプラズマ装置です。 高速(10m/min)処理で10°以下を達成(LCD向けガラス基板の処理)。 160~3400mm巾まで対応の豊富なラインアップをご用意しています。 LCD分野では、ガラス表面の濡れ性改善、wet洗浄効果の向上に、 タッチパネル、OLEDの分野では、導電フイルムの表面改質、貼り合わせ 前処理などの目的で使用されます。 【特長】 ■ダメージレス ■高い処理性能 ■豊富なラインアップ ■実績多数 ■対応幅:160~3400mm ■Utility:電源、処理ガス(N2、CDA)、排気、冷却水 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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【用途】 ■LCD分野 ■タッチパネル、OLED分野 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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積水化学工業P2グループでは大気圧プラズマを使った表面処理装置を製造販売しております。 FPD、機能性フィルム、自動車などの製造工程へ展開が可能です。