最大流量100slpm・公称流量20slpm！
『02Kシリーズ』は、室温型ガス精製器で、ガスに含まれる不純物を ほとんどの場合1ppb未満に除去するガス精製フィルターです。 窒素や希ガス、水素、アンモニア、アルシン、ホスフィン、HCI等を 含めた様々なガスから不純物を除去するように設計されています。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■寿命 ・公称流量で標準的な5N5(99.9995%)のガスを基準として約1年 (具体的な寿命についてはお問い合わせください。) ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
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基本情報
【精製対象ガス】 <媒体> ■C：Ar、He、Kr、N2、Ne、Xe、H2 ■CA：Ar、He、Kr、N2、Ne、Xe、H2 ■CA：H2、H2mix ■F：C2F6、C3F8、C4F8、CCIF3、CCI2F2、CCI4、CF4、CHCIF2、CHF3、CH3F ■OX：CDA、O2 など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
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企業情報
ゲッター技術の世界的パイオニア、サエス・ゲッターズ・グループのサエス・ピュア・ガス社の製品を中心に、 ハイテク技術に欠かせない超高純度ガス精製装置とPoint-of -Useガスフィルター、有機EL材、ゲッター剤等材料関連の輸入・販売を行っています。 生産ラインはもちろん、試験・研究に対応したカスタマイズ、小ロット受注など、専門知識を持つ技術営業がクライアントのニーズにきめ細やかに対応いたします。