センサが直接気体に触れて計測するため、高速応答性を実現しています
『MC-500シリーズ』は、気化した窒素の質量流量を設定温度に合わせて コントロールするLN2流量コントローラーです。 温度コントローラー（MC-1000シリーズ）と合わせて使用します。 標準機能として瞬時／積算流量表示、ガス種類切替機能、 上下限警報出力、アナログ出力、積算パルス出力、通信機能など 様々なニーズに対応できるよう各種装備しています。 【特長】 ■マイクロフローセンサは流路の壁面に設置され、 流れの抵抗となる構造体が少ない（低圧力損失） ■広い流量域での高精度を実現するため、マスフローメーターは RD（読み値）精度規定を採用 ■マスフロータイプには、アズビル株式会社製マスフローメーターを採用 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
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基本情報
【ラインアップ】 ■MC-500MF 大気型 ■MC-500MF 真空型 ■MC-500 大気型 ■MC-500 真空型 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
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企業情報
極低温（−180℃）〜超高温（1200℃）の広範囲の 温度調節が可能。設計、製作、組立、テスト全ての 工程を自社内で行い工程、品質管理の万全を期して おります。