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LN2フローUHVブースター『CTH40(WT)』

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最終更新日:2020年07月07日

有限会社テク 東京事務所
有限会社テク 東京事務所
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UHVシステムへのサンプル挿入の手間のかかる待ち時間短縮が可能なデバイス!

『CTH40(WT)』は、より迅速で効率的な作業を実現するヒーターコイル 及び温度センサーが搭載されたLN2フローUHVブースターです。 LN2フローバージョンのコールドトラップでターボ分子ポンプと 組み合わせてUHVシステムのロードロック又は小さな搬送用チャンバー等 に組み込んでクライオポンプのように使うことができます。 【特長】 ■サンプル挿入時の待ち時間を短縮 ■排気時間が大幅に短縮され、付加的なベークアウトが不要 ■フローバージョンは、加圧液体窒素デュワーまたは熱交換器と  窒素ガスを用いた冷却装置に取付可能 ■内蔵のPT100センサーを介して温度を常時監視可能 ■VSCT40コンパクトドッキングチャンバーに組み込んで使用可能   ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

    真空ポンプ圧力制御
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LN2フローUHVブースター『CTH40(WT)』

LN2フローUHVブースター『CTH40(WT)』.PNG
LN2フローUHVブースター『CTH40(WT)』.PNG
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基本情報

【仕様】 ■熱交換器:OFHCコア付アルミ冷却ブロック ■真空排気時間:約1E-8mbarの圧力まで約30分(VSCT40使用時) ■冷却温度(コールドトラップ):80K ■加熱コイル:内蔵抵抗ヒーター ■温度センサー:Pt100 ■電流導入端子:6ピンミニチュア導入端子(ICF34) ■取付フランジ:ICF70 ■構造材料:フルUHV適合 など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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