2重構造チャンバによるメンテナンス負荷低減と内容積のコンパクト化を実現 弊社の熱ソリューションを集約し最適な温度管理を実現
ワッティーが提供する実験・研究開発向け装置 2inch～8inchモデルまでの装置をご用意し、ユーザーニーズにお応え いたします。 また各種付帯設備をオプションでご用意しており、お客様の導入時の 設備導入負担を軽減します。 安全仕様・プリカーサ本数・プリカーサ導入方法・排気系統、あらゆる 項目についてカスタマイズのご要望にお応えいたします。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ▼お問い合わせ先 TEL：相模原事業所 042-704-5352 MAIL：info@watty.co.jp
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基本情報
【オプション例】 ・プロセス排気用除外設備 ・マニュアルハンドリングから自動搬送システムまで対応 ・不活性ガス用ピュリファイア ・プリカーサボトルサイズの選択 ・お客様の仕様にあわせカスタマイズ化 ・低価格のＡＬＤ装置仕様っもご用意 【装置概要】 ・到達圧力（プロセス時）：≦7Pa ・成膜温度：400℃（600℃対応ヒータ開発中） ・基本構成サイズ：2160×890×1940ｍｍ プリカーサ本数：最大５本 【成膜応用事例】 Al₂O₃ TiO₂ HfO₂ ZrO₂ SiO2 Ta2O5 TiN Sin 他膜種も対応致します。 【ALD受託成膜サービス】 弊社、相模原事業部内のALD成膜装置を使用し、受託成膜を行っております。ご要望のプリカーサによる成膜をお手伝いさせていただきます。お客様立ち合いによるライブデモや、ご希望のレシピ、パラメータによる比較評価等、あらゆるニーズにお応えします。 成膜後の評価業務にもお応えいたします。 定期的な少量Lotでの受託生産にも応じますのでお気軽にお問合せください。
価格帯
納期
用途／実績例
各種、受託成膜 各種カスタマイズによりお客様の要望に合わせ成膜装置をご提供いたします 研究機関等に導入実績あり
企業情報
当社（旧社名:京浜測器株式会社）は創業40周年を迎える2007年1月1日より ワッティー株式会社として生まれ変わりました。 社名は当社製造部門の柱である 「熱システム事業部」（主に半導体・FPD製造装置ほか各種精密機器に 使われるヒータユニットの開発、製造販売）でなじみの深い電力単位のワット（watt）を、 もう一本の柱である「センサ事業部」（主に液面レベルセンサ開発、 製造、販売）ではセンシングする液体の代表格、水（water）を、 それぞれイメージできる名前としてWattyとしました。
