高周波を用いて行うスパッタリング、プラズマ放電装置等に対応できる高周波電源装置
『T847C-1/T847C』は、13.56MHz帯のソリッドステート型高周波発生器です。 各種の負荷インピーダンスに対応させる為の手動整合器又は自動整合器を 搭載。また、高周波を用いて行うスパッタリング、プラズマ放電装置等に 対応出来ます。 さらに高周波出力電力は最大100Wで、その出力電力は可変することが出来、 その制御方法は当製品又は外部より0~5VDCを加えることにより、その電圧に 対応した高周波出力電力が得られます。 【特長】 ■高周波出力電力は最大100Wで、可変することが可能 ■入力電源電圧は100VAC型と90~264VAC型の2種類をご用意 ■運用操作は、当製品以外に外部からのリモート運用も可能 ■自動整合器を搭載(T847C) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【仕様(一部)】 ■MODEL:T847C-1/T847C ■周波数:13.56MHz ±1kHz ■出力電力:0 ~ 100W ■出力安定度:±1% ■寸法(H x W x D mm):130 x 280 x 303 ■質量:6 kg/6.5 kg ■備考:手動整合型/自動整合型 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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納期
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