RFジェネレータ『T847C-1／T847C』

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最終更新日：2020年07月10日

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高周波を用いて行うスパッタリング、プラズマ放電装置等に対応できる高周波電源装置

『T847C-1／T847C』は、13.56MHz帯のソリッドステート型高周波発生器です。各種の負荷インピーダンスに対応させる為の手動整合器又は自動整合器を搭載。また、高周波を用いて行うスパッタリング、プラズマ放電装置等に対応出来ます。さらに高周波出力電力は最大100Wで、その出力電力は可変することが出来、その制御方法は当製品又は外部より0～5VDCを加えることにより、その電圧に対応した高周波出力電力が得られます。【特長】 ■高周波出力電力は最大100Wで、可変することが可能 ■入力電源電圧は100VAC型と90～264VAC型の2種類をご用意 ■運用操作は、当製品以外に外部からのリモート運用も可能 ■自動整合器を搭載(T847C) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

関連リンク - http://www.cd-corp.com/k1.html

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基本情報

【仕様(一部)】 ■MODEL：T847C-1／T847C ■周波数：13.56MHz ±1kHz ■出力電力：0 ～ 100W ■出力安定度：±1％ ■寸法(H x W x D mm)：130 x 280 x 303 ■質量：6 kg／6.5 kg ■備考：手動整合型／自動整合型　など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。