ICP-MSに対して完全自動立上げ機能持っています
『NAC-316』は、Siウェーハのバルクエッチング機能を持った 完全自動微量金属汚染物質回収装置です。 ICP-MSに対して未経験者でも、分析結果を取得可能。 また、ロードポートを2台持っているため、作業効率は非常に良くなり、 インライン接続（OHT）も可能です。 【特長】 ■親水性ウェーハ・親水性ウェーハ何れも回収が可能 ■ロードポートにセットされたウェーハを自動でバルクエッチング・回収・分析を行う ■バルクエッチングは200mmと300mmの2種類が可能 ■1枚のウェーハを何層にも分けてのバルクエッチングも可能 など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
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基本情報
【その他特長】 ■洗浄液・回収液・検量線等に必要な薬液は500mLボトル又は100mLボトルの 蓋を外して薬液台に置くと自動交換 ■提供していただいた薬液で、洗浄液・回収液・希釈液を自動調合し製作 ■VPD&回収は200mmと300mmウェーハが対応可能 など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
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企業情報
当社は、表面汚染回収装置を活用した様々なニーズにお応えしてきました。 これまで不可能と思われた親水面の汚染回収も可能にした技術で 貴社の悩みを解決に導きます。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。
