ハイエンドモデルの卓上SEM
卓上SEMながら汎用SEMに匹敵する性能を有するハイエンドモデルです。汎用SEMのモジュールを最小化して開発した高性能コンパクトSEMです。タングステンフィラメントタイプの卓上SEMでは業界最高の分解能5nm（最大倍率 150,000x）を実現し、加速電圧は1kV~30kVまで使用可能です。低真空モー ド / 高真空モードの切り替え、二次電子像 / 反射電子像の取得、モーター制御の5軸ステージ、アパーチャーサイズの切り替え機能などが全て標準搭載されております。また、オプションでEDS検出器（元素分析）や冷却ステージなどの追加も可能です。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
分解能：5nm 倍率：20 x ~ 150,000 x 検出器：SE (二次電子) / BSE (反射電子) 真空モード：低真空 / 高真空 ステージ：5 軸 (X , Y , Z , R , T) モーター制御 X,Y：40mm Z : 0 ~ 40mm R : 360° T : -45 ~ 90° 最大サンプルサイズ：80 mm(W) / 80 mm(D) / 40 mm(H) カメラ：トップビューCCD カメラ アパーチャー：3 段階手動切り替え 電子線源：タングステンフィラメント 加速電圧：1kV ~ 30kV (1/5/10/15/20/30) 6段階 真空ポンプ：ロータリーポンプ + ターボ分子ポンプ
価格帯
500万円 ~ 1000万円
納期
※3ヶ月程度
用途／実績例
半導体 電子部品 自動車 材料科学 バイオ 食品 など様々な分野で活躍致します。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
弊社は創立以来、最先端な科学研究や最先端技術の発展に寄与し、最先端な科学研究の開発に貢献する事を経営理念として、国内外の最先端のエレクトロ二クス製品の発掘、導入で常に先導的な役割を果たしてまいりました。 弊社は最先端な研究機器製品の開拓、導入、技術サポート、情報物流などの専門商社機能の整備・拡充に努め、顧客の研究にご満足いただけるよう、追求しつづけ、常に新しい展開を求め企業価値の向上を図り、魅力ある企業を目指してまいりたいと存じます。