シンプルな構造により短時間で分解・組立が可能！潤滑油不使用なので清浄な真空が得られます。
『オイルフリースクロールポンプ』は、排気機構に潤滑油を使用せず、 清浄な真空が得られる製品です。 シンプルな構造なので短時間で分解・組立が出来、オイルを使用していないので、 クリーンなメンテナンス環境が得られます。 また、真空環境からベアリングを完全に遮断。水蒸気によるベアリンググリースの 劣化を防止し、よりクリーンな真空が得られます。 【特長】 ■クリーン排気 ■シンプル構造により短時間で分解、組立が可能 ■nXDSおよびXDSポンプは特許ベアリングシールドを採用 ■水蒸気によるベアリンググリースの劣化を防止 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【ラインアップ】 ■nXDS6i ■nXDS10i ■nXDS15i ■nXDS20i ■XDS35i ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■走査型電子顕微鏡 ■イオンインプランタ（ビームラインおよびエンドステーション） ■スパッタリング装置 ■蒸着装置 ■真空溶解炉・真空熱処理炉 ■表面改質装置・真空熱処理炉 ■ヘリウムリークディテクタ ■理化学実験用・分析機器用 ■ガス循環・回収装置用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
西和産業株式会社では、真空バルブをはじめ、各種真空機器や真空部品の 図面作成から設計、追加工、複合品の提供などを行っています。 真空装置の仕様に適した真空機器・真空部品を選定し、ご要望に応じて 追加工や設計といった応用を加えて、ニーズに合った製品に変えて お届けいたします。