表面特性の分析を直接評価。表面特性の解明と改良、及び新しい材料開発に貢献します!
流動電位及び流動電流の測定原理に基づき、半導体ウェハのゼータ電位を評価します。 クランプセルは、SurPASS 3を用いて半導体ウェハ等の平面形状サンプルを測定するためのツールです。独自のメカニズムで設定した接触圧力によってサンプルを装着し、再現性の高い測定を実現します。 高い柔軟性 ・電解液の流路を挟んで同一のサンプル表面を向かい合わせ、そのサンプルのゼータ電位を求める構成と、リファレンス表面を使用する非対称構成の2つの異なるサンプルアレンジメントが可能 ・異なる厚さのサンプルの非破壊測定が可能 SurPASS3では、次の情報を得ることができます。 ・表面が液体に接触したときの帯電挙動 ・pH及びイオン強度の影響 ・表面化学特性に特有の等電点 ・特定の表面官能基の存在 ・表面改質の評価 ・添加剤の表面への吸着と脱着の挙動
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基本情報
【測定対象】 半導体ウェハ (シリコンウェハ、ガリウム砒素 (GaAs) ウェハ、ガリウム燐 (GaP) ウェハ 、窒化ガリウム (GaN) ウェハ、シリコンカーバイド (SiC) ウェハ、サファイアウェハ、化合物半導体ウェハ、SAWウェハ) 【測定サンプルの規格】 サンプルサイズ :最小 35 mm x 15 mm、または、最小直径 17 mm サンプル厚さ :最大 40 mm 【測定範囲】 流動電位:± 2000 mV ± (0.2 % + 4 μV) 流動電流:± 2 mA ± (0.2 % + 1 pA) セル抵抗:5 Ω~20 MΩ ± (2 % + 0.5 Ω) 圧力測定:4000 mbar ± (0.2 % + 0.5 mbar) 圧力差が1500 mbarを超える場合は、外部圧力供給(圧縮窒素)が必要 pH :pH 2~pH 12 導電率 :0.1~1000 mS/m 温度 :20~40 °C 【寸法】 600 mm x 432 mm x 245 mm 【重量】 26 kg
価格帯
1000万円 ~ 5000万円
納期
用途/実績例
■化学工業 ■化粧品・パーソナルケア ■医薬品・医学・バイオテクノロジー ■材料科学 ■環境科学 ■紙・テキスタイル ■鉱物・鉱業・原料 ■電子工学 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
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企業情報
アントンパール社は、世界最高精度の振動式デジタル密度計を始め、粘度計、粘弾性測定装置(モジュラーレオメータ)、ゼータ電位測定装置、マイクロ波合成装置など様々な物性測定、分析機器の世界的メーカーです。 お客様の多岐にわたるご要望にお応えすべく、2009年2月日本法人を設立いたしました。 ショールームには、アントンパールの装置を豊富に展示しており、サンプル測定やデモンストレーションも可能です。 ユーザーセミナーや講師を招いてのアプリケーションセミナー、ウェビナーを随時開催しています。 固体、液体の物性測定や評価に関するご質問、お問い合わせ、デモ等ご要望がございましたら、ご遠慮なく、お問い合わせ下さい。