より真実味のある入力データでスパッタリング解析をおこなうことが可能です！
『スパッタリング・シミュレーション・モジュール（SPUTSM）』は、 PIC-MCCMの計算結果（ターゲットへの入射イオンのフラックス、エネルギー、 入射角）を参照し、SASAMALを用いて、スパッタリング粒子の放出フラックス や角度分布、エネルギーを計算するモジュールです。 粒子法を取り入れたプラズマ解析をおこなうPIC-MCCMで計算できる入射 イオンのデータを入力データとして用いることができ、より真実味のある 入力データでスパッタリング解析をおこなうことが可能。 また、入力方法もデータフォルダーの指定をするだけで簡単に取り込めます。 【特長】 ■スパッタリング粒子の放出フラックスや角度分布、エネルギーを計算する ■粒子法を取り入れたプラズマ解析をおこなうPIC-MCCMで計算できる 入射イオンのデータを入力データとして用いることができる ■より真実味のある入力データでスパッタリング解析をおこなうことが可能 ■入力方法もデータフォルダーの指定をするだけで簡単に取り込める ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【機能一覧（一部）】 ■応用分野：スパッタリング現象解析 ■モデリング手法：粒子法 ■解析手法：2体衝突近似に基づく動的モンテカルロ法 ■対象次元：1次元 ■ソルバー：ドライバー SPUTSM／モジュール SASAMAL ■GUI機能：付属のGUIMを使用（PNGファイル出力、印字出力、テキストデータ入出力、表示画面の任意拡大縮小） ■プレポスト：付属のGUIMを使用 ■付属機能 ・PIC-MCCMの計算結果取り込み機能 ・表面結合エネルギーのデータベースを内蔵 ・弾き出しエネルギーのデータベースを内蔵 ・反跳カスケード追跡 ・バックグラウンド計算 ■解析規模：無制限（実際にはメモリー容量と計算時間で制限されます） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
真空／プラズマ／希薄気体及び、気体エレクトロニクス分野における物理現象を解析するソフトを自社開発／販売を志して独立した企業です。私どもでは創造力、開発力、技術力そして競争力を企業精神としております。
