高精度・精密計測！任意のしきい値設定から欠陥に対してOK/NG判別を全自動で行います
『スクラッチ装置』は、ウエハーを複数枚乗せる事が可能で、極微少な スクラッチ（傷）、異物、カケの外観検査を全自動で行います。 ワークまでの距離を自動で測るレーザー変位計を装備しておりウエハーの 厚みに依存しません。 画像記録のほか任意のしきい値設定から欠陥に対してOK/NG判別を、 全自動で行います。アプリケーションとして、透明体、半透明のSiCやGaN、 GaAs、サファイア、シリコンなど、多彩に対応致します。 【特長】 ■極微少なスクラッチ（傷）、異物、カケの外観検査を全自動で行う ■ワークまでの距離を自動で測るレーザー変位計を装備 ■ウエハーサイズは4インチが基本、装置カスタマイズにより 12インチ迄、選択可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様】 ■カメラ移動 XY軸ステージ：ストローク X 230mm、Y 306mm ■カメラ焦点 自動Z軸ステージ：ストローク 39mm ■検査用200万画素モノクロ（1620×1236 画素） ■オリフラアライメント用カメラ（2592×1944 画素） ■CCTV レンズ：f=10mm、可視カットフィルタ付き ■LEDリング照明：内径27mm、発光波長850nm ■微分干渉顕微鏡筒：対物レンズ5x、光学調整のロック機構付き ■画像処理用パソコン：DELL Optiplex ■AF用レーザー変位計：物理的に接触しないようメカストップ機構有り ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
ソフトワークス株式会社では、コンピュータソフトウェアの開発および販売を 行っております。 テーマ＝条件に対し、解決法＝画像処理ソフト開発を考案。 照明などの光学系や機械系の検討から初め、機械系とのインターフェイス、 技術系コンサルタントから具体的な画像処理ソフトの開発までを手がけます。