付着膜が厚くなるにつれ溶接間で変形。付着膜のストレスを緩和します
『パーティクルゲッター(PG)』は、特殊表面加工された銅板であり 従来の溶射加工の代わりとなる製品です。 薄膜形成時に使用される装置内のパーツ表面に貼ることにより、 パーティクルコントロールや、装置内パーツ表面からの膜の剥離を抑制する といった効果が実証されています。 【特長】 ■特殊表面加工された銅板 ■溶射加工の代わりとなる ■特殊表面加工によるパーティクルを吸着 ■エンボス加工による付着膜の残留応力を緩和 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【PG施工によるメリット(一例)】 ■半導体の製品歩留まりが向上した ■バイヤス スパッター(反応スパッター)分野では、ダストの量が非常に多く、工程が成り立たない状況を改善できた ■シールドにブラスト処理等が少なくなり、部品の寿命が延びた ■新たなメリットとして、貴金属回収率が改善した ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【使用されている主な業界】 ■半導体 ■液晶 ■HDD ■水晶振動子 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
当社は、特殊金属の加工・販売に特化した会社です。 また、高融点＆高真空の先端技術分野において、多品種少量・高品質の 製品を短納期でお届けするための生産体制を構築するとともに、 環境に配慮した製品作りを行っております。