IoTとビックデータへの準備！オプションのリモートアクセスが可能です
『FSI Mercury MP』は、メインコントロール内のPLCコントロールASSYを 一式完全交換ができる製品です。 新しい24ビット12トゥルーカラータッチスクリーン付き機械制御システムを 採用。既存のプロセスレシピを保持しています。 また、オプションのリモートアクセスが可能となっており、 既存ケーブルへの簡単接続ができます。 【特長】 ■フィールドサービスアップグレードキット(IN/OUT) ■ダイレクトドライブモーター、メンテナンスフリーモーターASSY ■IoTとビックデータへの準備 ■既存のプロセスレシピを保持 ■装置モデル：0106/0107/0113 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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【その他の特長】 ■メインコントロール内のPLCコントロールASSY 一式完全交換 ■新しい24ビット12トゥルーカラータッチスクリーン付き機械制御システム ■オプションのリモートアクセス可能 ■既存ケーブルへの簡単接続 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社は、1990年薄膜部品のレーザー加工分野をサポートする技術商社として 出発し、現在まで各種ウエハープロセス装置用の光源、互換部品・部材、 表面処理部品、計測及び測定機器、研究開発用スパッタリング装置を輸入し、 キーデバイスを製造する最前線のプロセス設計技術者のみなさんに お届けして参りました。 今後とも進化し続け半導体液晶製造現場のFA化、超微細加工、センシング、 クリーンで高品質な環境、素材選定と表面処理などに対応。 ワールドワイドな視点で、新製品開発を含めた、よりフレンドリーな カスタマーサポート、サービスを提供し続けて参りたいと考えております。