幅広い用途に使いやすい不織布パッド
『SUBA(TM)』はシリコンウェーハやガラス基板、サファイア基板から GaN・SiC基板まで様々な種類の基板に対応できる研磨パッドとして、 高い性能と安定性・信頼性を発揮する不織布パッドです。 様々な用途に対応できる幅広いラインアップで理想的な研磨仕上がりを達成します。 より平坦度を重視した硬質系、平面度を重視した軟質系等、様々なご要望に お応えいたします。 【特長】 ■幅広い研磨対象に用いられる、高研磨レートを特長とした不織布系パッド ■標準品だけで10種類以上をラインアップ ■高硬度、高密度なパッドは仕上り平坦性が向上 ■低硬度、低密度なパッドはディフェクトが低減 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【ラインアップ】 ■SUBA(TM)400 ■SUBA(TM)400H ■SUBA(TM)600 ■SUBA(TM)800 ■SUBA(TM)800K3 ■SUBA(TM)808 ■SUBA(TM)840 ■SUBA(TM)800M2 ■SUBA(TM)800M4 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■シリコンウェーハ、石英、水晶、金属、サファイアやLT・LN・AIN・GaN・SiCなど基板の研磨 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
アンカーテクノ株式会社では、IC1000やSUBAといった国内外で極めて 高い実績を誇るCMP/研磨パッドからCMP/研磨スラリー、ワーク保持材 (テンプレート/バッキング材)、コンデショナー等、お客様の目的に合致 するご提案が幅広く可能です。 また専門スタッフによるパーティクルカウンター/TOC計/圧力分布測定/ 迅速菌検査キットなど、測定機器の販売やレンタルもございますので、 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。