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クリーン乾燥装置【クリーンルーム環境下での試料乾燥に!】

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最終更新日:2023年07月13日

三田産業株式会社
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クリーンルーム環境下での試料乾燥に使用するクリーン乾燥装置!高いクリーン度を保ち、フィルターの目詰まりを監視する差圧計も装備!

『クリーン製品乾燥装置』は、クリーンルーム環境下での試料乾燥に使用 するオーブンです。装置内のULPAフィルターにより高いクリーン度を 保ち、フィルターの目詰まりを監視する差圧計も装備しております。 各寸法、使用温度の変更や操作スイッチの配置等の細かい仕様を ご使用条件に合わせて設計させていただきます。 【特長】 ■装置内のULPAフィルターにより高いクリーン度を保つ ■フィルターの目詰まりを監視する差圧計も装備 ■操作性と視認性に優れる ■細かい仕様を使用条件に合わせて設計可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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クリーン乾燥装置【クリーンルーム環境下での試料乾燥に!】

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基本情報

【構造(抜粋)】 ■外形寸法:W2250×H2260×D2500(mm) ■槽内寸法:W1360×H1860×D2340(mm) ■使用温度:+40~+150℃ ■温度分布:±5℃以内 ■槽内雰囲気:大気圧(ULPA フィルター通過空気) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【用途】 ■クリーンルーム環境下での試料乾燥 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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当社では、恒温槽を中心に各種の環境試験装置を設計・製作・販売しております。 社内での一貫生産を行っており、量産品や一般の市販品とは異なり、お客様が 希望された装置を製作可能です。 また、ウェハー搬送も含め総合的なラインの構築も行っております。 設置後も専門のサービススタッフが対応いたしますので、アフターケアも万全です。

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