*ドライポンプACPシリーズ

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基本情報

ファィファーバキューム社は独国アスラーに本社を構え、1890年より最先端の真空機器、真空計測機器、真空分析機器の開発・製造を行なっている企業です。同社は、50年以上も前に世界で初めてのターボポンプを開発いたしました。それ以降、技術革新を進めこの分野におけるリーダーカンパニーとして、世界各国における半導体、分析、コーティング、産業、R&Dなどの多種多様の分野において、お客様に最適な真空環境をご提供しています。

価格帯

納期

※型番・数量によって納期が変動いたします。お気軽にお問い合わせください

用途／実績例

【用途】 クリーンアプリケーション用途

詳細情報

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  ポンプの真空部には潤滑油を使用せず、オイルフリーのクリーンな真空が得られます。ドライポンプは、気体移送式の真空ポンプで、ダイフラム式、スクリュー式、スクロール式、ルーツ式など構造上違いがあり、お客様のご用途に合った最適なポンプをご提供致します。 •クリーンアプリケーション用途 •長期メンテサイクル、約2年半（22,000時間）連続運転が可能　※ACP15は20,000時間 •パーティクルレスでクリーンな排気 •空冷式：冷却水不要　※ACP120Gのみ水冷仕様 •Heリークレート5×10-9 Pa m3/s　⇒ガス回収、ガス循環に最適 ※CPバージョンの場合 •様々なアプリケーション向けに、多彩なラインアップをご用意 1. 標準モデル：クリーンプロセス用 2. Gバージョン：腐食性ガス排気用 3. CVバージョン：水蒸気排気用 4. CPバージョン：ガス循環用 5. Rバージョン：耐放射線仕様 •多彩なオプションをご用意：パーティクルフィルター、外付けサイレンサー、低騒音カバー等 •単相/三相モーター選択可能

ラインアップ（11）