各種薬液の温度管理に！ウェットプロセスに欠かせない直接循環式薬液恒温装置
日本エクセル株式会社では『ケミカルサーキュレータ』を取り扱っております。 当製品は、RCA洗浄やウェットエッチングで用いられる薬液の温度を高精度に コントロール可能。ゴムOリングが直接液に触れないシール構造のため 酸性液、アルカリ性液など薬液毎のシール材質の選定が不要です。 また、冷却加熱部の伝熱接液部材は高純度のガラス状炭素を使用しており 溶出金属イオンによる汚染の心配がなく、表面保護膜も不要のため 剥離による能力低下もありません。 【特長】 ■薬液の温度を高精度にコントロール ■電子冷熱方式のため、室温付近の温度コントロールに適し且つ高精度 ■国際保護規格IP31に適合 ■漏液センサ、温度スイッチを内蔵 ■高メガピット化に伴うクリーン度アップのご要求にお応え ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【その他特長】 ■冷却加熱部の伝熱接液部材は高純度のガラス状炭素を使用しており、溶出金属イオンによる汚染の心配がない ■表面保護膜不要のため剥離による能力低下がない ■ゴムOリングが直接液に触れないシール構造のため酸性液、アルカリ性液など薬液毎のシール材質の選定が不要 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■半導体製造ウェットプロセスで使用される薬液の温度管理 ・RCA洗浄液 ・エッチング液 ・リソグラフィ工程の現像液 ■その他分野での各種薬液の温度管理 ・メッキ液、各種表面処理液、他 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
弊社は昭和３８年の創業以来、工業用シール部品の商社として、多種多様なニーズに応じたサービスの提供を通じて、広く産業界に貢献してまいりました。 昭和４３年に、一流総合シールメーカーである日本ピラー工業株式会社の特約店となり、昭和５６年より同社の代理店として、 グランドパッキン、ガスケット、メカニカルシール、フッ素樹脂製品（継手、ポンプ、チューブ、バルブ等）などの高品質なピラー製品を、産業機械関連、 半導体関連のお客様へご提供させていただいております。
