肉厚や大口径、複雑な形状など、さまざまな用途に対応！CVD法で製作した高純度SiC
『ソリッドSiC』は当社独自のCVD技術を応用し開発されました。 高強度・耐熱性・耐プラズマ性・耐薬品性に優れており、 幅広い様々な用途で高いパフォーマンスを発揮。 半導体装置に最適化された当製品は半導体の可能性を拡げる 材料として期待されています。 【特長】 ■高強度・耐熱性・耐プラズマ性・耐薬品性に優れている ■幅広い様々な用途で高いパフォーマンスを発揮 ■パーティクル低減・ライフ向上に貢献 ■高い熱伝導率・熱衝撃耐性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【その他の特長】 ■独自の製法で、約100ミクロン(0.1mm)のSiCコーティングを厚くして工業化に成功 ■純度が高く、強度があり耐腐食性がある ■シリコンとの相性は抜群 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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用途／実績例
【用途】 ■半導体装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社は、グラッシーカーボンやSiCコートカーボン、ソリッドSiCなど ファインカーボンの製造販売を行っております。 また、カーボン・カーボン複合材など耐熱複合材も取り扱いがございます。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。