極薄Siデバイス製造の乾燥に適したIPAベーパー凝縮置換乾燥装置
当社では、各種半導体・電子デバイス製造プロセスで共通の問題である 基板表面のウォーターマーク発生の抑止をターゲットに、鋭意改善を進め 開発したIPAベーパー乾燥装置をご提案します。 また、本装置は清浄な乾燥を要求する光学・凹凸部品等において、 乾燥させるのと同時に蒸留されたIPAにより、清浄度の高い仕上げ洗浄を行う 合理的な洗浄・乾燥装置です。 【特長】 ■世界最大クラスのシェア ■安全設計 ■ウォーターマークレス乾燥 ■クリーン乾燥 ■幅広い乾燥物の乾燥が可能 など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
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基本情報
【ラインアップ】 ■洗浄装置組込型 ■スタンドアローン型 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■Siデバイス製造の乾燥 ■SiCパワーデバイス製造の乾燥 ■LED・太陽電池製造等の乾燥 ■光学・凹凸部品の洗浄・乾燥 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
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企業情報
当社は、3つの事業部により構成されており、世界シェア約100％の ハードディスク用バーニッシャー装置、半導体向けテストハンドラ、 外観検査装置、各業界向け自動化装置、世界トップクラスシェアの 高発電効率太陽電池ウエハ用テクスチャリング装置、各種精密洗浄装置、 乾燥装置等を製造しています。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。