IPAベーパーレスとマランゴニ対流を利用したIPAミスト直接置換乾燥装置
当社では、長年のIPAベーパー乾燥装置の設計・製造経験並びに多くの事例で 培ったノウハウをつぎ込み、IPAベーパーレスとマランゴニ対流を利用して 鋭意改善を進め開発した「ウォーターマークレス乾燥装置」をご提案いたします。 洗浄後SiウェハをIPA直接置換乾燥により、大気に曝すことなく、 Siウェハ面を「純水⇒IPA」に直接置換することで、水滴の残留しない 表面を得ることが可能です。 【特長】 ■ウォーターマークレス乾燥 ■パーティクル再付着の抑制 ■IPAベーパーレス ■IPA消費量の削減 ■幅広い乾燥物の乾燥が可能 ■顧客ニーズに応えたカスタマイズ設計 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
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基本情報
【ラインアップ】 ■洗浄装置組込型 ■スタンドアローン型 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■Siデバイス製造の乾燥 ■SiCパワーデバイス製造の乾燥 ■LED・太陽電池製造等の乾燥 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
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企業情報
当社は、3つの事業部により構成されており、世界シェア約100％の ハードディスク用バーニッシャー装置、半導体向けテストハンドラ、 外観検査装置、各業界向け自動化装置、世界トップクラスシェアの 高発電効率太陽電池ウエハ用テクスチャリング装置、各種精密洗浄装置、 乾燥装置等を製造しています。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。