半導体・セラミック・磁性体・非磁性体等の成膜！超伝導薄膜の研究に適しています
当社では、超伝導薄膜の研究に適した米国レスカー社製の『マグネトロンスパッタ源』を 取り扱っております。 ターゲット利用効率が高い「Oリングタイプ」をはじめ、150mmの高さ調整が可能な 「シャッター 一体式スパッタ源」や「超高真空タイプ」などをラインアップ。 また、各種ターゲット材料の取り扱いもしております。お気軽にお問い合わせください。 【Oリングタイプ 特長】 ■強力なスパッタによりデポジションレートが速い ■ターゲット利用効率が高い ■成膜精度が高い ■ターゲット取付はクランプ式を採用 ■ターゲット交換が容易（ボンディング不要） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【ラインアップ】 ■Oリングタイプ ■シャッター 一体式スパッタ源 ■超高真空タイプ ■リニア（矩形）大口径タイプ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■超伝導薄膜の研究 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
・中古真空機器・真空装置の販売・レンタル・改造 移設・メンテナンス等幅広いサービスを提供させて頂いております。 ・中古真空機器・真空装置の買取 遊休・廃棄予定の装置・機器 買取査定させて頂きます。 ・真空部品として電流導入端子、スパッタ源、超高真空窓 真空フランジ・配管部品、マスフローコントローラー等 国内外の優れた製品を取り扱っております。 ●お気軽に、お問合せください。