半導体薬液洗浄装置のインライン用！フッ素樹脂製の薬液加熱ヒーター
『EXS』は、半導体薬液洗浄装置のインライン用薬液加熱ヒーターです。 接液部分は全てPFAを使用しており、低ワット密度の設計で長寿命。 超純水、アルカリ液、酸性液に使用可能です。 また、コンパクトなので設置が容易で、縦・横に設置できます。 【特長】 ■接液部分は全てPFAを使用 ■低ワット密度の設計で長寿命 ■超純水、アルカリ液、酸性液に使用可能 ■コンパクトなので設置が容易 ■縦・横に設置可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【ラインアップ】 ■EXS20 ■EXS40 ■EXS60 ■EXS80 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■半導体薬液洗浄装置のインライン用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社では、1995年（平成7年）の設立以来、フッ素樹脂の 総合エンジニアリングとしてその優れた特性を活かした製品の製造を 行っております。 規格品、量産品はもちろん、お客様のニーズに合わせて設計・製作が 可能です。 熟練技能の得意なところ、機械の得意なところ、それぞれを融合させ 更に高品質な製品を提供いたします。