計測機器等の高精度位置決めに最適!セラミックス製&完全非接触ガイドだからメンテナンスフリーで永くご使用いただけます!
セラミックエアスライド RCシリーズは、空気静圧による完全非接触ガイドです。 LM ガイドやクロスガイドと違い、転がりによる振動が発生しないため、 摺動抵抗が極めて小さく、高速移動が可能。 また、姿勢精度(ピッチング・ヨーイング)の値が小さく、高い真直度を維持できるため、計測機器や半導体製造装置など、高精度な走行動作が求められる装置のステージに最適です。 剛性に優れたアルミナセラミックスを使用することで、経年劣化がほとんど無く、オイルやグリスなどによる潤滑も必要ないので、メンテナンスフリーで半永久的にご使用いただけます。
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基本情報
セラミックエアスライドRC Series ストローク:25mm, 50mm, 100mm 剛性:上下1.0~4.0kgf/μm/左右0.8~3.0kgf/μm 最大積載荷重:2~8kgf 真直度:上下0.1~0.2μm/ストローク/左右0.1~0.2μm/ストローク(※) ピッチング:0.01~0.18μm ヨーイング:0.01~0.09μm (※)無負荷時の参考測定値です。 6種類の型式をご用意しております。各型式の仕様はカタログをダウンロードください。
価格帯
納期
用途/実績例
■計測機器の高精度位置決め ■半導体製造装置の高精度位置決め 高速/高精度な走行動作が求められる装置のステージに最適です。
ラインアップ(6)
型番 | 概要 |
---|---|
2RC025 | ストローク25mm |
2RC050 | ストローク50mm |
2RC100 | ストローク100mm |
3RC025 | ストローク25mm |
3RC050 | ストローク50mm |
3RC100 | ストローク100mm |
カタログ(2)
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1991 年9月、株式会社ピーエムティーは半導体製造装置の総合商社として創業しました。 その後、部品加工、金型の設計・製作を経て超精密軸制御技術を確立。 これを自社の強みとし、ナノステージシステムをはじめNC 微細加工機やマスクレス露光装置など様々な機械・装置に応用展開してきました。 現在ではライフサイエンス分野に特化した自動化システムや、製造現場の課題を解決するロボティクス事業にも着手し、業界分野の垣根を超えたモノづくりを続けています。 合言葉は、「ピーエムティーと、何創ろう」。 まずはお客様のご要望をお聞かせください。