シリコン透過式変位センサーを用いて、シリコンウエハ厚みを非接触で検出します
『Wafercom 300』は、ベアーウエハー対応の多機能な計測装置です。 シリコン透過式変位センサーを用いてシリコンウエハ厚みを非接触で検出。 測定時の揺れを最小限にする為、Y 軸(前後軸)及びθ軸(回転軸)には インド産黒御影石を使用した高精度なエアーベアリングを採用しており、 ウエハの厚みデータを正確に検出する事が可能です。 また、PCに取り込まれたデータを解析しグローバルフラットネス、 サイトフラットネス、ワープ、ソリ及びエッジロールオフの形状評価ができます。 【特長】 ■ベアーウエハー対応 ■多機能 ■Y軸(前後軸)及びθ軸(回転軸)には高精度なエアーベアリングを採用 ■ウエハの厚みデータを正確に検出する事が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【仕様(一部)】 ■ウエハーサイズ：300mm ■検出器：CHR-IT(CHR-E) ■表示部：CHR-IT ■分解能：0.2μm ■検出範囲：40～3500μm ■繰り返し精度：0.2μm ■電源：AC110V ■装置の大きさ：600(W)×800(D)×1400(H)mm ■重量：300kg など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
土井精密ラップ株式会社は、主にラッピング加工、ポリッシング加工などを行っている会社です。当社は、ラッピング加工のパイオニアとして豊富な経験と最新技術により、精密研磨以上の加工精度にて対応可能です。超硬合金・セラミック・石材等の硬質材料から、アルミ・銅などの軟質材料に至るまであらゆる材料の加工ニーズにお応えします。