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プラズマ処理法『Aqua Plasma』

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最終更新日:2021年01月18日

サムコ株式会社
サムコ株式会社
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還元に、接合に、水が効く。画期的なプラズマ処理装置についてご紹介します

『Aqua Plasma』は、水蒸気(H2O)を用いた新しい処理法です。 酸化した金属の還元、樹脂接合、親水化、有機物の分解を効率的かつ 安全に行うことが可能。 省スペースモデルの「AQ-500」をはじめ、大面積基板対応モデルの 「AQ-2000」や、マガジンモデルである「AQ-100M」などをラインアップ しております。 【ラインアップ】 ■省スペースモデル AQ-500 ■大面積基板対応モデル AQ-2000 ■Φ8″ダブルカセットモデル AQ-200C ■マガジンモデル AQ-100M ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

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プラズマ処理法『Aqua Plasma』

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基本情報

【製品特長】 <省スペースモデル AQ-500> ■金属酸化膜の安全な還元と有機物の洗浄を実現 ■樹脂の常温接合と超親水化 ■オールインワンによる省フットプリント(500 mm (W) x 650 mm (D)) ■水蒸気生成ユニットのワンタッチ起動 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

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用途/実績例

【応用例】 <省スペースモデル AQ-500> ■銀電極の表面還元、改質、洗浄 ■銅電極の表面還元、改質、洗浄 ■樹脂、ガラスの常温接合(接着剤レス)、マイクロ流体チップ用途 ■樹脂の表面改質、超親水化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

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サムコ株式会社

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ナノレベル~マイクロレベルの薄膜形成および加工の技術に優れ、研究開発用途から生産用途までの装置・技術提供に定評があります。加えまして、今後の市場拡大が見込まれております光源(LED・半導体レーザ)などのオプトエレクトロニクス分野に特化しております。

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